藍寶石晶圓介紹
藍寶石是氧化鋁的單晶,是自然界里硬度第二的材料,僅次于鉆石。藍寶石具有良好的透光性,高強度、抗碰撞阻力,耐磨性,抗腐蝕及抗高溫高壓,生物相容性,是制作半導體光電子器件的一種理想襯底材料,藍寶石的電學性質使之成為制作白光和藍光LED的襯底材料。
我公司長期生產厚度≧0.1mm,外形尺寸≧Φ2"的高精密度藍寶石晶圓。除常規的Φ2”, Φ4”, Φ6”, Φ8”以外,其它尺寸可以定制,請聯系我們的銷售人員。
技術參數
規格參數 |
2 inch |
4 inch |
6 inch |
8inch |
直徑 |
50.8 ± 0.1 mm |
100 ± 0.1 mm |
150 ± 0.1 mm |
200 ± 0.1 mm |
厚度 |
430 ± 25 um |
650 ± 25 um |
1300 ± 25 um |
1300 ± 25 um |
粗糙度 |
Ra ≤ 0.3 nm |
Ra ≤ 0.3nm | Ra ≤ 0.3nm |
Ra ≤ 0.3 nm |
翹曲度 |
≤ 10um |
≤ 10um | ≤ 10um |
≤ 10um |
總厚度偏差 |
≤ 3 um |
≤ 3 um | ≤ 3 um |
≤ 3 um |
表面質量 |
20/10 |
20/10 | 20/10 |
20/10 |
表面狀態 |
雙面拋光; 單面拋光 |
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形狀 |
圓形, 帶定位邊 |
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倒邊 |
45°,C Shape |
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材質 |
藍寶石晶體 |
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備注 |
藍寶石晶圓可定制 |